| 
Рыжиков И.А. 
МГТУ им. Н.Э. Баумана; ИТПЭ РАН
Москва, Российская Федерация
Рыжиков Илья Анатольевич --- канд. техн. наук, доцент, заведующий НОЦ "Функциональные микро/наносистемы" МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1); заведующий научно-исследовательским отделом ИТПЭ РАН (Российская Федерация, 125412, Москва, Ижорская ул., д. 13).
Все статьи автора