| 
Математическое моделирование процесса получения тройных полупроводниковых материалов методом жидкофазовой эпитаксии
| Авторы: Мажорова О.С., Попов Ю.П. | Опубликовано: 24.01.2015 |
| Опубликовано в выпуске: #2(5)/2000 | |
| DOI: | |
| Раздел: Прикладная математика; методы математического моделирования | |
| Ключевые слова: | |
Приведено описание математической модели и результаты численного исследования процесса получения полупроводниковых структур методом жидкофазовой эпитаксии.
