Применение компьютерного моделирования в пучковых технологиях

Приведены разработанные модели, вычислительные методики и оригинальные результаты, обеспечивающие моделирование с приемлемой точностью базовых процессов пучковых технологий. К ним относится моделирование воздействия электронов с энергиями 5 кэВ - 3 МэВ, легких ионов с энергиями 10 кэВ - 50 МэВ, кинетического транспорта молекулярных пучков в технологиях газового напыления и кинетики газовых смесей. Приведенные результаты ориентированы на разработку и модернизацию технологий радиационной обработки и модификации материалов, технологий выращивания пленок и покрытий, а также на решение других задач взаимодействия ионно-электронных и молекулярных пучков с материалами.