Рис
. 1.
Схема катодного узла
:
1
—
титановый катод
;
2
—
катодное пятно
;
3
—
дугогаситель
;
4
—
устройство под
-
жига
;
5
—
стенка камеры
;
6
—
токоподвод
Различные типы конструкций катодных узлов и систем с вакуумны
-
ми дуговыми испарителями представлены в обзоре
[4].
Настоящая работа посвящена определению характера движения и
скорости перемещения катодного пятна
,
а также определению геоме
-
трии плазменной короны пятна в зависимости от силы тока дуги
.
Для нанесения покрытий из нитрида титана на крупногабаритные
изделия была разработана конструкция катодного узла с протяженно
-
стью зоны эрозии катода до
1600
мм
.
Описание катодного узла дано в
настоящей работе
,
а его схема представлена на рис
. 1.
Узел состоит из
собственно катода
—
титановой трубы диаметром
56
мм
,
узлов систем
поджига и гашения дуги
,
а также системы охлаждения
.
Такая конструк
-
ция позволяет повысить скорость эрозии материала катода за счет уве
-
личения силы тока дуги
,
а надежная схема охлаждения
—
снизить ко
-
личество образуемых капель в нанесенном покрытии
.
Указанные осо
-
бенности выгодно отличают предложенную конструкцию от известных
схем катодного узла
.
В разработанной конструкции используется свойство пятна стре
-
миться в точку
,
ближайшую к месту токоподвода
.
Последовательность
работы катодного узла состоит в следующем
.
Пятно инициируется
устройством поджига
(
пробой происходит по поверхности керамиче
-
ской вставки
,
на которую первоначально наносится графитовая плен
-
ка
).
Затем пятно движется вдоль охлаждаемого трубчатого катода и гас
-
нет в дугогасящем устройстве
.
Рабочий цикл горения дуги заключается
в периодическом повторении процесса зажигания дуги
,
движения дуги
вдоль катода и гашения дуги в дугогасителе
.
Исследования производи
-
ISSN 1812-3368.
Вестник МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Сер
. “
Естественные науки
”. 2005.
№
2
47
