4 / 11
Л.П. Арефьева, А.А. Кравцов, А.В. Блинов
88
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Естественные науки. 2017. № 2
В исследуемых образцах содержатся такие элементы как кобальт, кислород,
углерод, кремний (подложка) и натрий в следовых количествах. Большое со-
держание кислорода позволяет предположить, что поверхность кобальтсодер-
жащих частиц покрыта оксидной пленкой.
Морфология полученных пленок и их геометрические характеристики изу-
чены методом атомно-силовой микроскопии
Ntegra Aura
в контактном режиме.
Трехмерное изображение рельефа поверхности кобальтсодержащей тонкой
пленки, полученной методом высушивания золя, представлено на рис. 3. Агло-
мераты наночастиц кобальта отстоят друг от друга на значительном расстоянии,
т. е. тонкая пленка кобальта имеет островковый характер.
Рис. 3.
Трехмерное изображение рельефа поверхности кобальтсодержащей пленки,
осажденной на кремниевой пластине Si (100) методом высушивания золя
С помощью функции
Grain Analysis
удалось идентифицировать на поверх-
ности подложки Si
(100) размером 10
10 мкм 898 кристаллов. При работе с ука-
занной функцией использована стандартная модель: образец содержит отдель-
но стоящие частицы или агломераты частиц; частицы имеют один пик.
Гистограммы распределения наночастиц по высоте и характерным размерам
показаны на рис. 4. Согласно полученному массиву данных геометрических харак-
теристик частиц, в образце имеется одна фракция с характерными размерами
50…350 нм и высотой 150…900 нм. Анализ всех геометрических характеристик
(диаметра частиц, их периметра у основания, площади поперечного сечения на
половине высоты, объема и линейных размеров) позволяет сделать вывод, что
форма частицы стремится к вертикально вытянутому полуэллипсоиду. Форма на-
ночастиц на поверхности подложки определяется, прежде всего, соотношением