| 
Шаповал С.Ю. 
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (ИПТМ РАН)
Черноголовка, Московская область, Россия
Сергей Юрьевич Шаповал родился в 1949 г., окончил в 1975 г. Московский институт радиотехники, электроники и автоматики. Канд. техн. наук, заведующий лабораторией "Эпитаксиальные микро- и наноструктуры" ИПТМ РАН. Автор более 100 научных работ в области наноэлектроники, физики плазмы, эпитаксии.
Все статьи автора