Моделирование передаточной характеристики вакуумной системы, содержащей источник прерывистого газовыделения
Авторы: Коновалов П.И., Меньшиков И.П., Невшупа Р.А. | Опубликовано: 12.03.2014 |
Опубликовано в выпуске: #1(24)/2007 | |
DOI: | |
Раздел: Механика | |
Ключевые слова: |
Приведен метод оценки кинетических параметров газовыделения в виде экспоненциальных пиков по измеренной зависимости давления в вакуумной камере от времени. Полученные зависимости позволяют определить границы возможностей регистрации пиков газовыделения, что является весьма актуальной задачей для практических приложений, таких как вакуумная диагностика механизмов.