| 
Поиск по ключевому слову "фокусировка ионного пучка"
Управление формой пучка технологического ионного источника для высокоточной обработки поверхности
| Авторы: Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Ивахненко С.Г., Кириллов Д.В. | Опубликовано: 24.05.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #3(72)/2017 | |
| DOI: 10.18698/1812-3368-2017-3-24-36 | |
| Раздел: Математика и механика | Рубрика: Механика жидкости, газа и плазмы | |
| Ключевые слова: ускоритель с анодным слоем, холловский ускоритель, фокусировка ионного пучка, ионное распыление, анодный слой, сила Лоренца | |