Рис. 2. Вакуумная схема диагностического модуля:
1
— ФЭУ регистрации опорного сигнала;
2
— зеркало фокусировки на дифракцион-
ную решетку;
3
— дифракционная решетка;
4
— зеркало фокусировки на мишень;
5
— мишень;
6
— люминофор;
7
— сменный оптический фильтр;
8
— ФЭУ измерения
сигнала
ческого модуля после замены исследуемого образца применен специ-
альный порт загрузки, необходимый объем которого на время разгер-
метизации изолируется от всех остальных трактов диагностического
модуля.
В диагностическом модуле установлен монохроматор нормально-
го падения, собранный по схеме Водсворта с вертикальной плоско-
стью дисперсии с горизонтальной щелью (рис. 3). Такой выбор щели
монохроматора обусловлен свойствами СИ: фиксированное положе-
ние источника излучения; размеры источника СИ составляют 3 мм
по горизонтали и 0,3 мм по вертикали, что обеспечивает более высо-
кое разрешение монохроматора; интенсивность излучения в плоско-
сти орбиты составляет 7/8 общей интенсивности излучения и имеет
высокую степень линейной поляризации ВУФ. Излучение накопителя
направляется на вогнутую сферическую дифракционную решетку с
вольфрамовым покрытием (радиус кривизны 1 м,
V
= 600
штрих/мм,
рабочая поверхность имеет размер 50
×
40 мм, полоса максимума кон-
центрации энергии в спектре составляет около 60 нм).
Монохроматор диагностической станции рассчитан для работы в
спектральной области от 3,5 до 35 эВ. Дифрагированное излучение
фокусируется на выходной щели, за которой установлен азотный крио-
стат. Расстояние от излучающего сгустка электронов до дифракцион-
ной решетки
10
м. Угол между направлениями падающего и от-
ражающего излучения составляет
10
◦
. Сканирование по спектру
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Естественные науки”. 2009. № 4
91
