Магнетронный разряд с жидкофазным катодом

Исследовано влияние фазового состояния мишени на коэффициенты катодного распыления при бомбардировке ионами аргона и ионами материала мишени. Исследования проведены на магнетронной распылительной системе с алюминиевыми и медными катодами. Продемонстрирована возможность работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллическим катодом. Показана возможность работы жидкометаллического медного катода в режиме самораспыления. Исследована динамика изменения напряжения магнетронного разряда в режиме стабилизации тока при фазовом переходе материала катода из твердого состояния в жидкое. Оценены значения коэффициентов катодного распыления указанных материалов с поправкой на термическое испарение. Показана тенденция к увеличению коэффициента катодного распыления при переходе из твердого состояния в жидкое

Литература

[1] Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 c.

[2] Кузьмичёв А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с.

[3] Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы. В 2 ч. Ч. 1. Устройство, принципы работы, применение. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. 55 с.

[4] Осаждение металлических пленок путем распыления из жидкой фазы / Б.С. Данилин, М.В. Какурин, В.Е. Минайчев, В.В. Одиноков, В.К. Сырчин // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. 1978. № 2 (74). С. 84–87.

[5] Гвоздев В.В. Исследование магнетронных распылительных систем с жидкометаллическим катодом с целью увеличения производительности и снижения энергозатрат процесса катодного распыления. Дис. … канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1999. 131 с.

[6] Блейхер Г.А., Кривобоков В.П. Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц. Новосибирск: Наука, 2014. 248 с.

[7] Магнетронный разряд с расплавленным катодом / А.В. Тумаркин, Г.В. Ходаченко, А.В. Казиев, И.А. Щелканов, Т.В. Степанова // Успехи прикладной физики. 2013. Т. 1. № 3. С. 276–282.

[8] Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Кириллов Д.В. Трибологические свойства серебряных покрытий, полученных методом магнетронного распыления // Наноинженерия. 2014. № 9 (39). С. 30–32.

[9] Марахтанов М.К., Понкратов А.Б. Разряд низкого давления в парах металла собственного катода // Письма в ЖТФ. 1989. Т. 15. № 4. C. 91–94.

[10] Майссел Л., Гленга Р. Технология тонких пленок. Справочник. Т. 1. М.: Советское радио, 1977. 644 с.

[11] Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М.: Мир, 1975. 623 с.

[12] Елистратов Н.Г. Экспериментальное моделирование взаимодействия плазмы изотопов водорода с элементами стенки реактора ИТЭР. Дис. … канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2004. 194 с.

[13] Хохлов Ю.А. Плазменные ускорители с азимутальным дрейфом электронов для получения тонких оптических пленок. Дис. … канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1987. 254 с.