| 
Поиск по ключевому слову "разряд магнетронный"
Магнетронный разряд с жидкофазным катодом
| Авторы: Духопельников Д.В., Булычев В.С., Воробьев Е.В. | Опубликовано: 26.01.2018 |
| Опубликовано в выпуске: #1(76)/2018 | |
| DOI: 10.18698/1812-3368-2018-1-95-103 | |
| Раздел: Физика | Рубрика: Теплофизика и теоретическая теплотехника | |
| Ключевые слова: коэффициент катодного распыления, разряд магнетронный, режим самораспыления, распыление из жидкой фазы, переход фазовый | |