| 
Все статьи автора "Бабурин А.С."
Формирование монокристаллических пленок алюминия на базе SCULL-технологии
| Авторы: Андрощук М.В., Москалев Д.О., Коршаков Н.Д., Константинова Т.Г., Сорокина О.С., Фокин Д.А., Бабурин А.С., Панфилов Ю.В., Рыжиков И.А., Родионов И.А. | Опубликовано: 10.11.2024 |
| DOI: | |
| Раздел: Физика | Рубрика: Физика конденсированного состояния | |
| Ключевые слова: алюминиевая тонкая пленка, электронно-лучевое испарение, SCULL-технология, монокристаллическая пленка | |