Таблица 1
Значения порогов фемтосекундной лазерной абляции полимеров, Дж/см
2
λ
, нм
(CH
2
O)
n
(C
2
F
4
)
n
атмосфера
вакуум
атмосфера
вакуум
266
>
0
,
8
>
0
,
8
0,25
0,23
400
2,04
1,6
1,15
1,35
800
7,05
6,7
2,1
3,34
с использованием данных о радиусе кратера (рис. 4). При предель-
ной для использованной лазерной установки плотности мощности
I
∼
1
,
2
·
10
13
Вт/см
2
на длине волны
λ
= 266
нм абляция не регистри-
руется, измеренное на этой длине волны для исследованного образца
значение коэффициента зеркального отражения поверхности при нор-
мальном падении составляет
∼
24
%, т.е. полимерная мишеньс учетом
диффузного отражения поглощает примерно половину падающего из-
лучения.
Значения спектрально-энергетических порогов абляции фторопла-
ста ((С
2
F
4
)
n
)
приведены на рис. 8; табл. 2 характеризует эксперимен-
тальные особенности регистрации порогов абляции, влияние которых
на значения спектрально-энергетических порогов и скоростей лазер-
ной абляции обсуждается ниже. В работе [11] в качестве мишени ис-
пользован образец ePTFE (С
2
F
4
)
n
— пленка толщиной
∼
50
мкм с
пористостью
∼
60
% (вытянутая из прессованного порошка фторопла-
ста и представляющая собой переплетение фторопластовых волокон
толщиной 10. . . 100 нм); такие особенности структуры используемого
материала могут привести к существенному снижению порога абля-
ции по сравнению с массивным образцом из спеченного порошка.
Таблица 2
Типы образцов и условия экспериментов
Образец материала
Число импульсов/ час-
тота импульсов (Гц)
Позиция на
рис. 8
Литературный
источник
Фторопласт Ф-4
1/0
1
—
Teflon (DoPont)
100/1000
2
[10]
Teflon (Good Fellow)
нет данных/1000
3
[12]
ePTFE
100/10
4
[11]
Teflon
50/1
5
[14]
Teflon
нет данных
6
[15]
Значение порога абляции было получено по результатам измерения
диаметра кратера на сканирующем электронном микроскопе (СЭМ)
после 100 импульсов лазерного излучения с частотой 10 Гц. В диапа-
зоне длительностей лазерного импульса 130. . . 700 фс регистрируется
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Естественные науки”. 2010. № 2
115
