О спектрально-энергетических порогах светоэрозии полимерных материалов. Ч. 1. Исследование лазерной абляции в поле ультракоротких лазерных импульсов в вакууме - page 8

мишени при закрытом опорном плече. Для предотвращения засвет-
ки кадра рассеянным излучением зондирующая длина волны выбрана
отличной от греющей.
В отличие от схемы интерференционного микроскопа в интерфе-
рометре Маха–Цендера
4
использован один микрообъектив
8
, устано-
вленный перед ПЗС-матрицей
10
. Для определения плоскости фоку-
сировки лазерного излучения в потоке, соответствующей плоскости
расположения пятна воздействия, использована проволочка, которую
располагали вертикально у поверхности мишени таким образом, что-
бы ее торец приходился на зону воздействия (что контролировалосьпо
изображению с камеры интерференционного микроскопа), после это-
го проводиласьюстировка оптической схемы интерферометра Маха–
Цендера
4
для получения резкого изображения проволочки. При ис-
пользовании механизированной шторки
16
реализована возможность
получения как интерференционных, так и абсорбционных (теневых)
фотографий газоплазменного потока без внесения изменений в опти-
ческую схему и разгерметизации вакуумированной мишенной камеры
6
. Для уменьшения потерь при транспортировке УФ лазерного излуче-
ния кристалл генерации третьей гармоники
11
расположен максималь-
но близко к облучаемой поверхности непосредственно в вакуумной
камере.
Ниже приведены основные параметры экспериментально-диагно-
стического комплекса:
Длина волны, нм:
греющего импульса (
τ
0
,
5
= 45
. . .
70
фс) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266, 400, 800
зондирующего импульса . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 400, 800
Диапазон задержек регистрации (шаг), с . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10
13
. . .
10
7
Пространственное разрешение:
по поверхности, мкм . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
<
1
по глубине, нм . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
по потоку, мкм . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
<
1
Методика эксперимента.
При использовании интерференционной
микроскопии необходимо, чтобы поверхностьаблирующей мишени
обладала высоким коэффициентом зеркального отражения на длине
волны зондирующего излучения. Это условие для полимерных ма-
териалов трудно выполнимо, поэтому в качестве мишеней исполь-
зованы помещенные на диэлектрическое зеркало срезы полимерных
материалов толщиной 5–7 мкм, полученные на ротационном микро-
томе (Cut 4055, Slee Mainz), толщина которых контролироваласьна
110
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Естественные науки”. 2010. № 2
1,2,3,4,5,6,7 9,10,11,12,13,14,15,16,17,...18
Powered by FlippingBook