О спектрально-энергетических порогах светоэрозии полимерных материалов. Ч. 1. Исследование лазерной абляции в поле ультракоротких лазерных импульсов в вакууме - page 7

ферометр Майкельсона (см. рис. 1), с переносом изображения по-
верхности исследуемого образца на плоскостьПЗС-матрицы [6]. В
этой схеме фемтосекундный лазерный импульс с помощью свето-
делительной пластины разделяется на греющий и зондирующий.
P
-
поляризованный лазерный импульс, падающий на исследуемый обра-
зец
1
под углом 45
, используется для возбуждения вещества мишени.
Для изменения плотности энергии в зоне воздействия в оптической
схеме применен узел ослабителя, состоящий из поляризатора и полу-
волновой пластины (
λ/
2
)
13
. Контрольэнергии лазерного излучения
в каждом импульсе осуществляется с помощью калиброванного фо-
тоэлектронного умножителя (ФЭУ)
12
(H6780-04, Hamamatsu), реги-
стрирующего излучение, отраженное кварцевой пластиной. Калибров-
ка фотоприемника выполняется по показаниям пироэлектрического
измерителя энергии (J-10MT-10kHz, Coherent) в диапазоне используе-
мых уровней энергии.
Использование ФЭУ, помещенного в вакуумируемый объем
6
, по-
зволяет наиболее точно регистрироватьэнергию лазерного импульса,
падающую на мишень, что особенно важно при воздействии в УФ
области спектра. Зондирующий лазерный импульс с изменяемой за-
держкой относительно греющего импульса предназначен для подсвет-
ки исследуемой области мишени. Для изменения временной задержки
используется многопроходная схема линии задержки
5
(с шагом из-
менения
6
нс) в сочетании с моторизованной (8MT160-300, Standa,
диапазон изменений 0. . . 1,8 нс), что позволяет изменятьзадержку в
диапазоне значений от
Δ
t
= 0
до 75 нс с точностью
Δ
τ <
100
фс,
определяемой длительностью лазерного импульса подсветки. Инстру-
ментально реализована (в интерферометрах Майкельсона
3
и Маха–
Цендера
4
) возможностьодновременного зондирования излучением
как одной, так и различных длин волн (табл. 1). Второе плечо ин-
терферометра образовано микрообъективом
8
и опорным зеркалом,
Для выравнивания интенсивности в плечах интерферометра исполь-
зоваласьсистема нейтральных светофильтров, устанавливаемая меж-
ду опорным зеркалом и микрообъективом. Отраженный от поверхно-
сти образца зондирующий луч (“объектный”) интерферирует с “опор-
ным” лучом в плоскости ПЗС-матрицы
10
. Тепловое излучение плаз-
мы отрезается интерференционным светофильтром с пропусканием на
соответствующей длине волны, установленным перед ПЗС-матрицей
10
. Применение ПЗС-камеры с разрядностью 12 бит позволяет реги-
стрироватьинтерферограммы с меньшим шагом квантования интен-
сивности, чем при использовании видеокамер с разрядностью 8 бит,
и повыситьчувствительностьэкспериментальной оптической схемы.
Плоскостьфокусировки определяется по изображению поверхности
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Естественные науки”. 2010. № 2
109
1,2,3,4,5,6 8,9,10,11,12,13,14,15,16,17,...18
Powered by FlippingBook