Рис. 1. Схема ОТФ-установки
конструкции печи. Для поддержания режимов роста в установках ис-
пользуют управление мощностью нагревателей. Оптимальный алго-
ритм управления находят с помощью математического моделирования
процессов тепло- и массопереноса в технологических установках.
Одним из перспективных методов получения высококачественных
монокристаллов большого размера является ОТФ-метод выращивания
монокристаллов (рис. 1). Он разработан для точного управления про-
цессами тепло- и массопереноса вблизи фазовой границы в процессе
роста объемных кристаллов [1–2]. Идея метода заключается в том,
чтобы создать осевой тепловой поток вблизи фронта кристаллизации.
Этот поток формируется за счет дополнительного нагревателя, разме-
щенного в расплаве на небольшом расстоянии от фронта кристалли-
зации. Малая толщина слоя расплава между нагревателем и фронтом
кристаллизации обеспечивает подавление естественной конвекции.
Во всех ОТФ-установках для выращивания монокристаллов име-
ются области (зазоры), наличие которых обусловлено конструктивно-
технологическими требованиями при проектировании установок; за-
зоры заполнены сжатым газом (например, аргоном) для передачи те-
38
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Естественные науки”. 2007. № 4
