входящего в плазму от анода
,
составит
E
п
=
Γ
e
A
(
e
ϕ
A
+
2
kT
A
)
.
(
8
)
Горячие термализованные электроны заперты в плазме прианодным
скачком потенциала
∆
ϕ
A
,
но свободно достигают катода
.
В силу этого
можно положить
,
что
T
e
A
>
T
e
K
и
n
A
>
n
K
.
Если ввести коэффициент
N
=
n
A
v
i
A
n
K
v
i
K
,
то поток электронов с анода описывается выражением
Γ
e
A
=
2
γ
N
Γ
e
K
v
i
K
v
eR
K
+
Γ
R
A
.
(
9
)
При этом выражение
(2)
примет вид
I
обр
заж
e
=
2
(
1
+
γ
)
N
Γ
R
K
µ
m
e
m
i
¶
1
/
2
+
Γ
R
A
,
(
10
)
поскольку
v
i
K
v
eR
K
=
µ
m
e
m
i
¶
1
/
2
.
На основе соотношений
(1)
и
(8)
получим
E
п
=
Ã
2
γ
N
Γ
R
K
µ
m
e
m
i
¶
1
/
2
+
Γ
R
A
! ³
eU
обр
заж
+
Φ
A
−
Φ
K
−
2
kT
A
´
.
(
11
)
Энергия
E
т
,
выносимая термализованными электронами из плазмы
на катод
(
интегрирование левой части соотношения
(6)
проводится по
функции распределения термализованных электронов
),
определяется с
учетом соотношений
(3)
и
(4)
выражением
E
т
=
2
T
e
K
1
4
n
K
v
e
K
−
2
T
K
1
4
n
R
K
v
eR
K
=
=
2
T
K
Γ
R
K
µ
T
e
K
T
K
v
e
K
v
eR
K
−
1
¶
=
2
T
K
Γ
R
K
à µ
T
e
K
T
K
¶
3
/
2
−
1
!
.
(12)
Функция распределения быстрых электронов у поверхности катода
описывает распределение по скоростям электронов пучка
,
достигших
катода
,
и вторичных электронов
,
выбитых с его поверхности
.
Интегри
-
рование по функции распределения быстрых электронов позволяет по
-
лучить соответствующие потери энергии за счет пучка быстрых элек
-
тронов
,
которые с использованием коэффициента
η
п
,
введенного ранее
,
можно представить в виде
E
Б
= (
1
−
η
п
)
E
п
.
(
13
)
ISSN 0236-3933.
Вестник МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Сер
. "
Естественные науки
". 2003.
№
2 99
