1 / 13 Next Page
Information
Show Menu
1 / 13 Next Page
Page Background

24

ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Естественные науки. 2017. № 3

УДК 537.5

DOI: 10.18698/1812-3368-2017-3-24-36

УПРАВЛЕНИЕ ФОРМОЙ ПУЧКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ИОННОГО

ИСТОЧНИКА ДЛЯ ВЫСОКОТОЧНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ

Д.В. Духопельников

duh@bmstu.ru

Е.В. Воробьев

С.Г. Ивахненко

ivakhnenko@bmstu.ru

Д.В. Кириллов

МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация

Аннотация

Ключевые слова

Показано, что эффект азимутального отклонения

ионов в пучке ускорителя с замкнутым азимутальным

дрейфом электронов можно использовать для управ-

ления формой ионного пучка и профилем распределе-

ния плотности ионного тока по радиусу. Изменяя

профиль распределения магнитного поля вдоль оси

ускорительного канала, можно управлять профилем

плотности ионного тока, придавая ему как кольцевую

форму, так и форму, близкую к распределению Гаусса.

Предложен критерий для расчета магнитной системы,

обеспечивающей наилучшую фокусировку ионного

пучка. Установлено, что по известному распределению

магнитного поля при оптимальной фокусировке ион-

ного пучка можно оценить положение зоны ионизации

в ускорительном канале

Ускоритель с анодным слоем,

холловский ускоритель, фокуси-

ровка ионного пучка, ионное рас-

пыление, анодный слой, сила Ло-

ренца

Поступила в редакцию 16.08.2016

©МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017

Введение.

Технологические ионные источники применяют для очистки и акти-

вации поверхности изделий перед нанесением тонкопленочных покрытий, ион-

ного ассистирования в процессе нанесения покрытия, осаждения алмазоподоб-

ных покрытий, ионно-лучевого травления и формообразования.

В современной промышленности из всего многообразия ионных источни-

ков [1] наиболее распространены электростатический сеточный ускоритель и

ускоритель с азимутальным дрейфом электронов (чаще всего, выполненный по

схеме ускорителя с анодным слоем). Достоинства сеточного ускорителя — неза-

висимое управление ионным током и энергией ионов в пучке, равномерное

распределение по радиусу плотности ионного тока, возможность с помощью

экранов корректировать форму ионного пучка [2, 3], недостаток — чрезмерная

сложность конструкции и системы электропитания. Ускорители с анодным сло-

ем удобны в эксплуатации, имеют простую конструкцию и предъявляют меньше

требований к системе электропитания. В то же время недостатком ускорителей

с замкнутым дрейфом электронов традиционной конструкции является нерав-

номерное по радиусу распределение плотности ионного тока в пучке: он имеет

кольцевую форму с провалом в центре.