Previous Page  6 / 13 Next Page
Information
Show Menu
Previous Page 6 / 13 Next Page
Page Background

Управление формой пучка технологического ионного источника…

ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Естественные науки. 2017. № 3

29

делитель напряжения с полным сопротивлением 6 кОм. Вследствие этого по-

тенциал зондов всегда соответствовал ионной ветви вольт-амперной характери-

стики, а ток в измерительной цепи был пропорционален ионному току на зонд.

Ускоритель размещался в вакуумной камере вертикально. Многоэлектрод-

ный датчик устанавливался на подвижном держателе, конструкция которого

позволяла изменять расстояние от датчика до ионного источника в пределах

100…400 мм. Плоскость датчика была перпендикулярна оси ускорителя.

Для управления конфигурацией магнитного поля изменялось число магни-

тов, установленных в основную и компенсирующую магнитные системы. В зави-

симости от числа магнитов параметр

А

может принимать как положительные, так

и отрицательные значения. Три нормированные зависимости индукции магнит-

ного поля от образующей конического канала при различных значениях пара-

метра

А

представлены на рис. 4.

Рис. 4.

Нормированные зависимости индукции магнитного поля от образующей

ускорительного канала при значениях параметра

А

> 0 (

1

),

А

≈ 0 (

2

),

А

< 0 (

3

)

Рис. 3.

Многоэлектродный датчик ионного тока