6 / 13
Управление формой пучка технологического ионного источника…
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Естественные науки. 2017. № 3
29
делитель напряжения с полным сопротивлением 6 кОм. Вследствие этого по-
тенциал зондов всегда соответствовал ионной ветви вольт-амперной характери-
стики, а ток в измерительной цепи был пропорционален ионному току на зонд.
Ускоритель размещался в вакуумной камере вертикально. Многоэлектрод-
ный датчик устанавливался на подвижном держателе, конструкция которого
позволяла изменять расстояние от датчика до ионного источника в пределах
100…400 мм. Плоскость датчика была перпендикулярна оси ускорителя.
Для управления конфигурацией магнитного поля изменялось число магни-
тов, установленных в основную и компенсирующую магнитные системы. В зави-
симости от числа магнитов параметр
А
может принимать как положительные, так
и отрицательные значения. Три нормированные зависимости индукции магнит-
ного поля от образующей конического канала при различных значениях пара-
метра
А
представлены на рис. 4.
Рис. 4.
Нормированные зависимости индукции магнитного поля от образующей
ускорительного канала при значениях параметра
А
> 0 (
1
),
А
≈ 0 (
2
),
А
< 0 (
3
)
Рис. 3.
Многоэлектродный датчик ионного тока