Д.В. Духопельников, Е.В. Воробьев, С.Г. Ивахненко
34
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Естественные науки. 2017. № 3
Ивахненко Сергей Геннадьевич
— канд. техн. наук, доцент кафедры «Плазменные
энергетические установки» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005,
Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1).
Кириллов Даниил Вячеславович
— ассистент кафедры «Плазменные энергетические
установки» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бау-
манская ул., д. 5, стр. 1).
Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:
Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Ивахненко С.Г., Кириллов Д.В. Управление формой
пучка технологического ионного источника для высокоточной обработки поверхности
// Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Естественные науки. 2017. № 3. C. 24–36.
DOI: 10.18698/1812-3368-2017-3-24-36
SHAPE CONTROL OF THE TECHNOLOGICAL ION SOURCE BEAM
FOR HIGH-PRECISION SURFACE TREATMENT
D.V. Dukhopel'nikov
duh@bmstu.ruE.V. Vorob'ev
S.G. Ivakhnenko
ivakhnenko@bmstu.ruD.V. Kirillov
Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
Abstract
Keywords
The study shows that the effect of azimuthal deflection of
ions in an accelerator beam with a closed azimuthal electron
drift can be used to control the shape of the ion beam and
the profile of the ion current density distribution along the
radius. By varying the distribution profile of the magnetic
field along the axis of the accelerating channel, it is possible
to control the ion current density profile, giving it both an
annular shape and a shape close to the Gaussian distribution.
We propose a criterion for calculating the magnetic system
providing the best focusing of the ion beam. Findings of the
research show that from the known distribution of the mag-
netic field with the optimal focusing of the ion beam, one
can estimate the position of the ionization zone in the accele-
rating channel
Accelerator with anode layer, Hall
current accelerator, ion beam focu-
sing, ion sputtering, anode layer,
Lorentz force
REFERENCES
[1] Zhurin V.V. Industrial ion sources: Broadbeam gridless ion source technology. Wiley,
2011. 326 p.
[2] Ghigo M., Canestrari R., Spiga D., Novi A. Correction of high spatial frequency errors on
optical surfaces by means of ion beam figuring. Proc. SPIE. 6671. Optical Manufacturing and
Testing VII, 2007, vol. 6671, pp. 667114-1–667114-10. DOI: 10.1117/12.734273
Available at:
http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=1321975