Управление формой пучка технологического ионного источника для высокоточной обработки поверхности

10 / 13

Управление формой пучка технологического ионного источника…
ISSN 1812-3368. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Естественные науки. 2017. № 3 33
9. Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Воробьев Е.В. Экспериментальное
подтверждение эффекта азимутального отклонения ионов в двигателях с анодным слоем //
Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2012. № 11. С. 233–238.
DOI: 10.7463/1112.0483882 URL:
10. Влияние азимутального отклонения ионов плазменной струи на тяговый КПД двигателя
с анодным слоем / М.К. Марахтанов, Д.В. Духопельников, С.Г. Ивахненко, Е.В. Воробьев,
В.И. Крылов // Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2012. № 12.
DOI: 10.7463/1212.0483944 URL:
11. Воробьев Е.В., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Марахтанов М.К. Потеря тяги в дви-
гателях с анодным слоем за счет азимутальной закрутки ионов // Вестник МГТУ
им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2011. Специальный выпуск «Ионно-плазменные
технологии». С. 58–63.
12. Духопельников Д.В., Марахтанов М.К. Способ электромагнитной фокусировки ионного
пучка в ускорителе плазмы с азимутальным дрейфом электронов. Патент RU 2465749.
Опубл. 2012. URL: (дата обращения: 15.01.2017).
13. Воробьев Е.В., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Жуков А.В., Кириллов Д.В., Марах-
танов М.К. Холловский ускоритель с фокусированным пучком для наноразмерной обра-
ботки крупногабаритных зеркал оптических телескопов // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Сер. Машиностроение. 2011. Специальный выпуск «Ионно-плазменные технологии».
С. 35–41.
14. Compact steady-state and high-flux Falcon ion source for tests of plasma-facing materials /
O. Girka, I. Bizyukov, K. Sereda, A. Bizyukov, M. Gutkin, V. Sleptsov // Review of Scientific In-
struments. 2012. Vol. 83. DOI: 10.1063/1.4740519
URL:
15. Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г. Влияние азимутального отклонения ионов на форму
пучка двигателя с анодным слоем // Наука и образование: научное издание МГТУ
им. Н.Э. Баумана. 2012. № 10. DOI: 10.7463/1012.0483832
URL:
16. Matthew T. Domonkos, Alec D. Gallimore, Sven G. Bilén. A Hall probe diagnostic for low densi-
ty plasma accelerators // Rev. Sci. Instrum. 1998. Vol. 69. No. 6. P. 2546–2549.
DOI: 10.1063/1.1148956 URL:
17. Духопельников Д.В. Измерение индукции магнитного поля и моделирование холлов-
ского тока в разряде магнетронной распылительной системы // Наука и образование: науч-
ное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2015. № 10. DOI: 10.7463/1015.0818660
URL:
18. Rossnagel S.M., Kaufman H.R. Induced drift currents in circular planar magnetrons // Journal
of Vacuum Science & Technology A. Vacuum Surfaces and Films. 1987. Vol. 5. No. 1. P. 88–91.
DOI: 10.1116/1.574822 URL:
Духопельников Дмитрий Владимирович — канд. техн. наук, доцент кафедры
«Плазменные энергетические установки» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федера-
ция, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1).
Воробьев Евгений Валентинович — ассистент кафедры «Плазменные энергетические
установки» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бау-
манская ул., д. 5, стр. 1).